原创力文档- 1、本文档共6页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
集成光学的进展与现状
第 卷 高 速 摄 影 与 光 子 学
‘ 一
第 期 人 时 如
卫 !
口
特趁文
二
展
集成光学的进 与现状
纪 集成光学诞生二十周年
—
于 荣 金
中国科学院长容物理研究所
摘 共
。
今年是集成光学诞生二十周年 本文就集成光学硕城的进展与现状作一评述 点介绍 仇,
凡
。
一 , 以
族化合物半导体和硅衬底上的器件及其集成 工艺技术 及应用
关 润 集成光学 光波导器件, 。
、
一 引 言
” ’ , ‘
“ 以 汇 ‘
自从 年美国贝尔实脸室 业 首次提出 集成光学 这一术语 来
。
已 , 已 。 ,
经整二十年了 经过二十年的发展 集成光学器件 进入应用阶段 目前 光波导技
。
, 已
文档评论（0）