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Parylene在毫米波MMIC电路防护上的应用研究.pdf
第33卷第1期 电 子 元 件 与 材 料 V01.33No.1
CoMPONENTSANDMATERIALS Jan.2014
2014年1月 ELECTRONIC
仝晓刚,敖辽辉,石秀锟,成彦
0036)
(中国电子科技集团公司第十研究所,四川成都61
GHz的薄膜滤波器和Ka频段的低噪声放
N在毫米波电路防护上应用的可行性,对35
摘要:为了验证Parylene
N膜层使薄膜滤波器中心频率下偏了约o.4%,10pm
大器进行了Parylene处理。测试结果表明,5pm的Parylene
N膜层使低噪放的噪声系数略有增大、增益略有降低。最后,
膜层使其中心频率下偏了约o.7%;5um的Parylene
对Parylene处理后的低噪放进行了湿热试验,高、低温贮存试验,发现其噪声系数曲线、增益曲线与试验前的走势
一致性较好。因而,Parylene处理技术在毫米波电路防护上的应用是可行的。
N;防护;MMIC电路;薄膜滤波器;低噪声放大器;噪声系数;增益
关键词:Parylene
doi:1 001-2028.201 4.01.01l
0.39690。issn.1
中图分类号:TN605 文献标识码:A 文章编号:1001—2028(2014)01—0039-04
in MMICcircuits
for millimeter-wave
Paryleneapplied
Investigation
TONG Yah
Liaohui,SHIXiukun,CHENG
Xiaogang,AO
InstituteofChinaElectronics
10th 610036,China)
(The TechnologyGroupCorporation,Chengdu
with todemonstratethe
GHzthinfilmfilterandKa-bandlow·noise werecoated
Abstract:35 amplifier Parylene
as ontest ofthin
of Ninmillimeter-wavecircuitsan results,idle
feasibilityParylene encapsulatinglayer.Based frequency
N decreasesaroundO.7%when1 0
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