状犿高功率垂直腔面发射激光列阵的单元结构优化-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ９ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．９ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ９ Ｓｅ．２０１１ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０９２０１４０９ 　 ９８０狀犿高功率垂直腔面发射 激光列阵的单元结构优化 ， １２ １ １ １ １ １ 张 星 ，宁永强 ，曾玉刚 ，秦 莉 ，刘 云 ，王立军 　 　 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 激发态物理重点实验室，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００４９） 摘要：为了提高 垂直腔面发射激光器（ ）列阵的整体性能，对列阵单元器件的分布布拉格反射镜（ ）的 ９８０ｎｍ ＶＣＳＥＬ ＤＢＲ 反射率进行了优化。分析了ＤＢＲ的反射率与阈值电流，输出功率及转换效率之间的关系，在维持较低阈值电流的前提 下适当调节了ＮＤＢＲ的反射率，使单元器件斜率效率得到了有效提高，进而改善了 ＶＣＳＥＬ列阵的整体输出特性。优 化 反射率后研制出的包含 个单元的 列阵器件在注入电流为 时的连续输出功率为 ；在脉宽 ＤＢＲ ６４ ＶＣＳＥＬ ６Ａ ２．７３Ｗ 为 ，重复频率为 的 脉冲电流驱动下输出功率达到 ；包含 个单元的列阵器件在注入电流 １００ｎｓ １００Ｈｚ １３０Ａ １１５Ｗ ３００ 为 时，连续输出功率达到 。对 反射率进行优化后， 列阵的整体输出特性得到了有效改善。 １８Ａ ５．２６Ｗ ＮＤＢＲ ＶＣＳＥＬ 关 键 词：半导体激光器；垂直腔面发射激光器；结构优化；分布布拉格反射镜 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＮ２４８．４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ２０１４ 　　 　　 犗狋犻犿犻狕犪狋犻狅狀狅犳犲犾犲犿犲狀狋狊狋狉狌犮狋狌狉犲犻狀９８０狀犿犺犻犺狅狑犲狉 狆 犵 狆