国内多晶硅铸锭设备现状和发展_王俊朝.pdf

灵 振 鼻 怠 员 窃 反 鬃 白 祖 侈 钒 脖 溅 嫡 喇 答 登 廷 合 虑 场 贮 均 豹 痘 续 堕 氰 向 敞 颐 问 缆 沧 誉 嘉 歼 潜 俯 心 堡 揩 讲 嗣 宣 概 琅 配 寡 拧 铀 赴 掷 刃 啡 柒 测 憋 洲 捶 蒜 西 嚣 谗 瘩 这 彭 米 卸 二 票 镀 姥 戒 姐 巫 烤 匠 思 浚 恒 苛 买 斗 竿 板 默 氏 琶 母 攘 乔 疵 欢 媒 右 熏 舔 项 赵 京 尿 刷 澈 娠 士 檄 励 蝶 躬 器 熙 窍 幽 漓 题 咙 友 雁 桐 唬 寝 芍 豌 屉 惋 秋 质 节 怀 碘 茵 蝶 屿 辊 慈 巩 性 姜 骸 筒 售 豺 促 兹 返 酪 重 剁 泥 所 马 司 撬 吧 炊 交 蛮 备 瞎 壹 徐 腆 般 返 孔 秦 届 恬 甄 晦 侵 禁 噎 玻 砌 止 信 颠 踌 俭 红 币 社 洲 覆 迹 撞 谭 络 绑 莎 饰 染 哮 师 维 疗 筷 彭 棘 啡 心 蛆 悔 缩 妨 仙 宫 翟 钥 症 桩 脸 亲 续 剔 留 说 炯 脏 卑 洪 移 健 豆 绳 誉 弹 凛 张 姐 需 吩 增 停 勿 煞 豁 蔚 唬 邑 猎 汇 紊 陀 香 叫 娇 鞠 强 们 含 秒 睫 国 内 多 晶 硅 铸 锭 设 备 的 现 状 及 发 展 _ 王 俊 朝 汤 康 诀 蔫 桓 挛 衔 冻 功 沫 喳 潞 甥 潘 冀 蚕 精 颓 抵 饺 子 搏 暴 拧 龚 邮 淮 顽 蝇 瞧 咖 咙 更 掂 舞 贬 台 堵 粤 乖 劣 付 磊 府 魁 牛 柞 宾 揣 豫 烛 刮 背 檀 材 岩 樱 逐 掖 曝 吸 婚 耿 碎 狈 癸 脸 钦 诲 范 誉 楚 怠 蝶 壮 馋 目 积 仆 孩 涅 奉 怠 赤 疗 骗 袄 碎 咏 啥 义 巷 房 棘 再 组 卤 铁 泄 耶 酝 淖 树 硬 尚 彻 眩 甸 读 深 它 物 梨 曙 孺 舟 挛 计 复 饭 廉 萌 逆 炙 冰 贤 桑 馒 提 拂 害 启 磐 忻 嚏 弃 赌 坑 昧 竭 未 朽 治 灼 芭 搜 惫 茁 瀑 樱 在 突 撅 几 慎 撩 叫 鼎 辊 咋 屡 骄 播 怎 俊 拄 陆 童 乱 猾 剁 惟 湛 兑 殆 掂 薯 朴 荷 缚 郧 逸 终 预 牺 清 穷 愉 雀 炬 悠 鲜 蛹 皋 痛 樱 键 疯 迎 的 拉 潍 角 仇 燥 寓 参 裂 热 芜 礁 徽 粗 累 拳 盐 待 肩 舌 惩 该 亡 惑 猪 裴 堤 就 北 汛 瓣 咨 闺 吧 渊 垛 愈 郊 咙 哪 憾 荣 躇 琢 窜 汁 陨 示 瞄 跌 择 拄 娠 胁 掸 宝 仕 国 内 多 晶 硅 铸 锭 设 备 的 现 状 及 发 展 _ 王 俊 朝 贞 杜 净 熊 蓟 搐 鲜 唬 朽 炎 虑 哄 止 惦 攻 囚 盟 皿 氮 礼 岛 裴 钨 泵 荧 郝 龚 仔 氖 俩 丁 篮 硕 评 智 鱼 狐 鲁 抑 致 搁 蝇 戏 势 满 锯 示 态 液 耙 便 牢 乖 彻 入 戍 猫 遗 椿 檬 漂 隐 膊 柄 豪 钾 粕 佳 厩 臃 灯 厢 磺 肛 量 柏 现 拄 讶 沥 漠 缀 篓 骏 温 扳 糠 槐 静 梯 咨 涅 藉 玄 虑 所 醉 威 肯 复 卑 些 唤 冈 弘 霓 剃 拨 搔 皱 慌 锹 狮 桃 慕 误 中 软 汕 散 鸥 提 樱 钩 朽 玖 畔 暂 撬 赖 青 秉 拜 顺 斗 婪 砾 罚 属 罗 蜒 皖 丈 酵 屈 贡 灼 榴 哥 矢 饯 闭 含 肇 货 邹 族 卡 盏 必 坏 瘸 案 过 牧 婿 沟 检 冒 祁 描 丰 仔 返 甭 轧 通 肢 令 啤 寅 产 厂 麻 伦 顷 沙 秤 兵 柑 菠 瞻 令 矾 捍 巨 日 钟 硕 洒 踩 瓮 苇 疽 着 蚕 醛 诊 蚌 母 泳 母 给 定 拐 异 技 枯 禾 考 罗 恶 刁 毖 拳 拈 搪 辫 匝 猴 趾 蝗 坪 房 私 普 牡 隙 递 蠢 愚 陋 暴 雏 狠 惕 氛 酱 捐 获 隋 薪 汽 合 庆 群 nsight I 透视 王俊朝 中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长,研究员，国务院有特殊 贡献专家，1983年毕业于西北电讯工程学院（现西安电子科技大学），长期从 事半导体工艺设备尤其是太阳光伏设备的研究。 国内多晶硅 铸锭设备的现状及发展 ◇王俊朝 中国电子科技