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磁悬浮平面电机课件
第6部分 超精密多自由度平面运动实现方法;超细微加工工作台;超精密多自由度运动的实现原理;多自由度平面电机;空气悬浮平面电机;空气悬浮平面电机;磁悬浮平面电机;W.J. Kim and D. L. Trumper（MIT）;设计方案;悬浮线圈;磁悬浮平面电机;驱动线圈;驱动力和加速度;国内外研究现状分析 ;激光测量系统;美国University of North Carolina 和MIT联合开发的扫描显微镜多自由度平台采用3个高精度电容传感器测量垂直方向的三个自由度，采用3个四通激光外差干涉仪测量水平方向的三个自由度。
电容传感器的分辨率0.1nm，测量范围为100um。激光干涉仪的分辨率优于0.1nm。;韩国三星电子机械公司与汉城国立大学联合研究的多自由度定位平台采用三个内置的电容来测量平台的运动，为了减小测量噪音，测量放大部分的印制电路安装在悬浮平台上。整个系统在y和z方向的定位精度小于0.1?m，在各个方向的旋转精度小于0.5弧秒。;CCD;磁悬浮平面电机的控制系统;控制硬件和软件;基于MATLAB开放式运动控制卡;耦合问题;多向耦合问题
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