OKAMOTO 研磨机更换砂轮作业的SOP 问题描述： 维修过程或制程说明：.PDF

OKAMOTO 研磨機更換砂輪作業的SOP 問題描述： 1. OKAMOTO研磨機砂輪在不定期時間會使用完畢 ，必須 更換新的砂輪 2.本通報定義如何更換新的砂輪及其注意事項 維修過程或製程說明： 1.在砂輪壽命結束時，會有 error code發生，如下圖所示。 2.取出新的砂輪，注意粗細砂輪是不一樣的，如下圖所示， 是細砂輪的編號。 3.將膠帶切開，如下圖所示。 4.在砂輪上亦有砂輪編號可供參考，如圖所示。 5.將 SPINDLE移至最高點： (1). 將面板狀態轉至 HAND PANEL ，如圖。 (2).在 PANEL 上選擇至[GRIND ST] ，按下SET CW ，如圖 (3).進入後，選擇 F0 ，按下 MENU ，再按下 ↑，此時 SPINDLE 會緩緩上升至頂點，如圖 (4).若有故障發生時，可按下 RESET ，如圖 6.將砂輪拆下： (1). 將水管移至一旁，如圖 (2). 將測高手臂移至一旁，如圖 (3). 將砂輪的六根螺絲轉開，注意要平均的鬆開每顆螺絲， 否則會造成 FLANGE損壞，如圖 (4).保留三顆螺絲在上面 ，以免在拆卸時 ，砂輪掉落 ，造 成 CHUCK TABLE的損壞，如圖 (5).輕輕的將砂輪敲下，如圖 (6). 將 FLANGE用水槍及氣槍清潔，如圖 先用水槍清洗 用氣槍吹乾 7.安裝新砂輪： (1). 在新砂輪上安裝三支螺絲，並將砂輪小心地放入 FLANGE裡 ，再將另外三支螺絲鎖上 ，注意每一支螺絲要 平均的鎖入，如圖 (2). 將測高手臂及水管移回原來的位置，如圖 (3). 注意水管必須調整至第二個白圈上，如圖 (4). 注意手臂的 GAUGE ，安裝時必須對準，G2在 TABLE 上比較黑圈髒污( 的位置，) G1在 TABLE 上 WAFER的位 置，如圖 8.砂輪測高： (1). 準備 1MM的塊規，放置在砂輪的下面，如圖 (2).使用 PANEL ，按至POS ，再按下HAND ，利用轉盤將 砂輪慢慢轉下，直至接觸到 1MM的塊規為止，如圖 進入 POS的子目錄後,按下 HEAD鍵可使砂輪進入手動控制 利用轉輪控制砂輪升降速度直至接觸到 1MM的塊規為止 (3). 按下 POS ZERO SET ，此時螢幕會顯示1MM ，如圖 (4).設定好後，將 SPINDLE用轉盤往上移，並取出塊規 9.計算磨耗最大量： (1). 在砂輪的包裝盒上會有一份檢查成績表，如圖 (2). 在第七項為刀長， EX ：5.37mm (3). 在主螢幕上，會有顯示 GRIND POSITION ，EX ： 6.7633mm(注意是你更換的那一顆) ，如圖 (4).計算磨耗最大量＝刀長 (5.37mm) －預留量(0.5mm) ＋ G/P(6.7633mm) ＝11.6333mm (5). 將所計算出的值儲入 BASIC PARAMETER 2 ，如圖 10.RUN DUMMY 2 至 3片，檢查 TTV值 ，正常則可正式生 產。