一种关于低温多晶硅TFT技术的柔性8位异步微处理器-2006.pdf

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等 一种基于低温多晶硅 技术的柔性 位异步微处理器 总第 期 NobuoKaraki : TFT 8 62 文章编号: ( ) 1006-6268200604-0030-05 一种基于低温多晶硅TFT技术 的柔性8位异步微处理器 NobuoKaraki,TakashiNanmoto,HiroakiEbihara,SatoshiInoue,TatsuyaShimoda 精工爱普生公司技术平台中心,日本长野 ( ) 摘 要:介绍基于低温多晶硅 技术和采用激光退火表面刻蚀技术的柔性 位异步微处理 TFT 8 器,并且给出了异步电路描述语言 。 个晶体管的微处理器在 , 的条件 Verilog+ 32,000 500kHz5V 下消耗电流 180mA,功耗是同步微处理器的30%。 关键词:低温多晶硅;激光退火表面刻蚀;异步微处理器 中图分类号: 文献标识码: TN141.9 B AFlexible8-bitAsynchronousMicroprocessorBasedonLow- TemperaturePoly-Silicon(LTPS)TFTTechnology NobuoKaraki,TakashiNanmoto,HiroakiEbihara,SatoshiInoue,TatsuyaShimoda (TechnologyPlatformResearchCenter,SeikoEpsonCorp.,Nagano-ken,Japan) Abstract:A flexible8-bitasynchronousmicroprocessorbasedon low-temperature poly-silicon (LTPS)TFTtechnology,surfacefreetechnologybylaserannealingandablation (SUFTLA)andasynchronouscircuitdescription languageVerilog+ ispresented.The 32k-transistormicroprocessorconsumes180mArunningat500KHz,5V.Thepowerlevelis 30%ofthesynchronouscounterpart. ; Keywords:low-temperaturepoly-silicon(LTPS)surfacefreetechnologybylaserannealing andablation, ; (SUFTLA)asynchronousmicroprocessor 它在特性上偏差太大,如图 所示。这种偏差主 1 介绍 1 要由晶粒尺寸和氧化硅厚度所致。到目前为止, [2] 这种偏差被认为超 出了同步 电路设计所及范 以低温多晶硅(LTPS)TFT技术 和采用激光 退火表面刻蚀(SUFTLA)为特征的柔性微电子技 围,特别是针对由公用时钟驱动的诸如微处理 [

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