GB/T 28632-2012表面化学分析　俄歇电子能谱和X射线光电子能谱　横向分辨率测定.pdf

ICS71.040.40 G04 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT28632 2012ISO185162006 表面化学分析 俄歇电子能谱和 射线光电子能谱 横向分辨率测定 X — Surfacechemicalanalsis Auerelectronsectrosco andX-ra y g p py y — hotoelectronsectrosco Determinationoflateralresolution p p py ( : , ) ISO185162006IDT 2012-07-31发布 2013-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — / : GBT28632 2012ISO185162006 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 、 、 3 术语 定义 符号和缩略语 ……………………………………………………………………………… 1 4 一般信息 ………………………………………………………………………………………………… 2 5 直边法测量横向分辨率 ………………………………………………………………………………… 3 6 栅格法测量横向分辨率 ………………………………………………………………………………… 8 7 金岛法测量横向分辨率………………………………………………………………………………… 10 ( ) 附录 资料性附录 带聚焦 射线束斑的 仪器横向分辨率测定 …………………………… A X XPS 14 ( ) 附录 资料性附录 二次电子线扫描谱横向分辨率测定 …………………………………………… B 16 ( ) 附录 资料性附录 俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定 …………………………………………… C 17 参考文献 …………………………………………………………………………………………………… 19 /