奈米级分子层薄膜结构奈米级分子层薄膜结构.PDF

奈米製作與奈米製作與 量測專題量測專題 利用掃描式沾水筆探針微影技術研製利用掃描式沾水筆探針微影技術研製 奈米級分子層薄膜結構奈米級分子層薄膜結構 NanopatterningNanopatterning ofof FunctionalFunctional GroupsGroups UsingUsing Oip-PenOip-Pen NanolithographyNanolithography 吳家豪、許証宗吳家豪、許証宗 ChiaChia HaoHao \\旬\\旬，， JengJeng TzongTzong SheuSheu 奈米科技已然成為本世紀前期重要的主導桔心技術而在眾多先進研發技術中，掃描式探針奈米科技已然成為本世紀前期重要的主導桔心技術而在眾多先進研發技術中，掃描式探針 微影術種類繁多微影術種類繁多且已且已成為發展奈米科技不可或缺的工具成為發展奈米科技不可或缺的工具 。。 本研本研究乃是究乃是利用掃描式沾水筆探針利用掃描式沾水筆探針 微影微影技術技術藉著空藉著空氣中水分子當媒介，直氣中水分子當媒介，直接接在矽質晶片上進行奈米級分子層結構在矽質晶片上進行奈米級分子層結構圖案圖案的微的微影塗影塗 佈。在此種方式中探針就像一隻筆，而分子層溶液就如同墨水佈。在此種方式中探針就像一隻筆，而分子層溶液就如同墨水一一般般 ，除了傳統，除了傳統墨墨水圓形化之水圓形化之 外，外， 目目 前的研發技術前的研發技術已已能將能將 于胺基丙于胺基丙坑三坑三甲氧基甲氧基矽線寬精準地控矽線寬精準地控制在制在 6060 --7070 nmnm 之間，同之間，同 時奈時奈米米金顆粒亦能選擇性沉積於該圓形金顆粒亦能選擇性沉積於該圓形上上 。。 NanopatterningNanopatterning uussinging dip-pendip-pen nanolithonanolithoggraphraphyy (DPN)(DPN) hhasas beenbeen demonstrateddemonstrated withwith MHAMHA inkink onon gogoldld substratessubstrates inin aa temptemperaerature-controllture-controll eedd aandnd humidithumidity-controlledy-controlled eenvironmennvironment.t. OnOn thethe otherother handhand ,, NN--(2-aminoethyl)-3-amino(2-aminoethyl)-3-amino--propyl-trimethoxysilanepropyl-trimethoxysilane (AEAPTMS) (AEAPTMS) isis uusesedd asas inkink toto depositedeposite onon thth ee ssiliconilicon dioxidedioxide sursurfacfac ee asas linkerlinker forfor chargedcharged nanopnanop articles.articles. ItIt isis fofo undund thatthat thethe featurefeature sizesize ofof AEA