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第25 卷 第8 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 25 No. 8
2010 年8 月 Journal of Inorganic Materials Aug. , 2010
文章编号: 1000-324X(2010)08-0840-05 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2010.00840
三级化学气相沉积法制备 SiC 纤维及拉伸性能测试
张荣军, 杨延清, 沈文涛
(西北工业大学 凝固技术国家重点实验室, 西安 710072)
摘 要: 以甲基三氯硅烷为先驱体, 用直流电热三级化学气相沉积法制备了带有碳涂层的钨芯 SiC 纤维, 测定了纤
维的室温拉伸强度, 并用 Weibull 分布对纤维的拉伸强度进行了评价. 利用扫描电镜(SEM)、X 射线衍射仪(XRD)
和透射电镜(TEM)分析了纤维的断口形貌、相结构组成和W/SiC 界面反应层的微观结构. 结果显示, 三级化学气相
沉积法制备SiC 纤维拥有两层β-SiC 和均匀的表面碳涂层, 钨芯和SiC 之间存在厚度约为0.35μm 的界面反应层, 纤
维的平均拉伸强度和Weibull 模数分别达到3266MPa 和 16.3, 并对纤维的断裂机理进行了分析和讨论.
关 键 词: SiC 纤维; 化学气相沉积; 拉伸强度; 断口形貌; Weibull 模数
中图分类号: TQ343 文献标识码: A
Preparation and Tensile Test of SiC Fiber Fabricated by Three-stage Chemical
Vapor Deposition
ZHANG Rong-Jun, YANG Yan-Qing, SHEN Wen-Tao
(State Key Lab of Solidification Processing, Northwestern Polytechnical University, Xi’an 710072, China)
Abstract: Continuous silicon carbide (SiC) fiber with carbon coating was fabricated by three-stage chemical vapor
deposition (CVD) on W filament heated by direct current (DC), using CH SiCl as gaseous reactant for SiC as well
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as C H for the outmost carbon coating. Young’s modulus and tensile strength of the fiber were tested at room tem-
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perature, wh
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