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气路系统原理图(确定版本)
气路系统命名 朱丽 大会议室命名规则—Gas Box 什么阀 第几路 第几个阀 字母 数字 数字 8路分别为： 1，2 ，3，4，5，6，7，8 * * * CV Check Vavle 单向阀 MFC Mass Flow Controller MFC AV Air-operated Valve 气动阀 F Fliter 过滤器 PT Pressure Transducer 压力传感器 RV Regulator Pressure Vavle 减压阀 MV Manual Shutoff Vavle 手动阀 简写 英文名称 中文名称 * * N2 30SLM 预留 预留 P P P P P P P SiH4 2SLM NF3 5SLM Ar 15SLM NH3 2SLM N2O 2SLM He 15SLM N2 2SLM P 预留 A B C 互锁 互锁 Gas Box系统原理 手动阀 单向阀 调压阀 压力表 过滤器 气动阀 MFC P 第三版 MV1 RV1 P1 F1 AV11 AV12 MFC1 PV1 MV2 MV3 MV5 MV4 MV6 MV7 MV8 RV2 RV3 RV4 RV5 RV6 RV7 RV8 PT2 P3 P4 P5 P6 P7 P8 F2 F6 F7 F8 F3 F4 F5 MFC2 MFC3 MFC4 MFC5 MFC6 MFC7 MFC8 AV21 AV22 AV51 AV61 AV71 AV81 AV31 AV41 AV32 AV42 AV52 AV62 AV72 AV82 PV3 PV6 PG Vacumm Gauge 真空计 AngV Angle Vavle 角阀 GV Gate Vavle 截止阀 TV Throottle Vavle 蝶阀 简写 英文名称 中文名称 PUMP cleanroom Gas Box A B C ABV BBV CBV 互锁 互锁 foreline TV GV PUMP — N2回填 — 真空计 — 节流阀 截止阀 气动阀 角阀 压电控制阀 过滤器 MFC RC RPS BFV Loadlock LLV LLBV RCBV LLAV LLMFC F 第二版 命名规则：位置 用途 什么阀 PG RCAV AFV CFV
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