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- | 2014-12-31 颁布
- | 2015-09-01 实施
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ICS29.045
H 83
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT30652 2014
硅外延用三氯氢硅
Trichlorosilaneforsiliconeitaxial
p
2014-12-31发布 2015-09-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发 布
中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
/ —
GBT30652 2014
前 言
本标准按照 / — 给出的规则起草。
GBT1.1 2009
。 。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )和全国半导体设备和材料标准
SACTC203
化技术委员会材料分会( / / )共同提出并归口。
SACTC203SC2
: 、 、 。
本标准起草单位 中锗科技有限公司 南京国盛电子有限公司 南京中锗科技股份有限公司
: 、 、 、 、 。
本标准主要起草人 柯尊斌 刘新军 郑华荣 谭卫东 金龙
Ⅰ
/ —
GBT30652 2014
硅外延用三氯氢硅
1 范围
( ) 、 、 、 、 、 、
本标准规定了硅外延用三氯氢硅 SiHCl 的要求 试验方法 检验规则和标志 包装 运输 贮存
3
( ) 。
质量证明书以及订货单 或合同 内容
( )。
本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅 以下简称产品
2 规范性引用文件
。
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