Centrothermx操作说明.pdf

一：管式PECVD 开炉门操作步骤: 1:手动设定炉管的压强为大气压 MANUAL—VACCUM—TUBE—PRESSURE— MININUM （10000） 2 ：手动充气 炉管内没有舟时：MANUAL—GAS—N2NO—OPEN 炉管内有舟时：MANUAL—GAS—N2—VOLUME— MAXIMUM （15） 3:设定桨的位置 MANUAL—BOAT—POSITION—SETPOINT—20(不得低于20) 4 ：等炉门打开后 MANUAL—GAS—N2NO—CLOSE 或MANUAL—GAS—N2—VOLUME— DEFLAUT(0.5) 二：手动取舟操作： 一） 正常情况下： 1:手动设定炉管的压强为大气压 MANUAL—VACCUM—TUBE—PRESSURE— MININUM （10000） 2 ：手动充气 MANUAL—GAS—N2—VOLUME— MAXIMUM （15） 3:设定桨的SLS （处于低位才可以进去取舟） 没有处于低位时：MANUAL—BOAT—SLS—GODOWN 4:设定桨的位置完全进炉管位置 MANUAL—BOAT—POSITION—SETPOINT—MAXIMUM （2082 ） 4:设定桨的速度 MANUAL—BOAT—SPEED—SETPOINT—MAXIMUM （400 ）（可以设定在0—400 任一数值） 5:设定桨的SLS 为UP 位置 MANUAL—BOAT—SLS—GOUP 4:设定桨的位置为初始位置 MANUAL—BOAT—POSITION—SETPOINT—MININUM （0 ） 二） 非正常情况下：（如有时发现桨在低位时位置设定不了的时候等可以用下面的方法） 1：初始化炉管状态 SERVICE—INITIDEVS 2:观察设定桨的速度 MANUAL—BOAT—SPEED—SETPOINT—MAXIMUM （400 ）（可以设定在0—400 任一数值） 3 ：设定桨的位置使炉门打开 MANUAL—BOAT—POSITION—SETPOINT—20 4 ：设定SLS 的位置为低位： MANUAL—BOAT—SLS—GODOWN 5：手动推桨至界面显示的实际位置为2082 6：再次初始化炉管状态使SLS 为高位 SERVICE—INITIDEVS 7 设定桨的位置为初始位置： MANUAL—BOAT—POSITION—SETPOINT—0 8:观察设定桨的速度 MANUAL—BOAT—SPEED—SETPOINT—MAXIMUM （400 ）（可以设定在0—400 任一数值） 本设备主要功能是对硅片进行表面镀膜处理。主要由上料部分（LOADING ）、炉管（furnace ）部分、 气源(gas cabinet)部分、CMS 部分、高频电源、真空部分、人机交换与控制界面组成。设备为全自动处 理。 上料部分: 由小车（trolly ），机械手（lift axle，grip ），进给桨（SLS,EFM）,小车有新旧两种，依靠 液压缓冲器和调节螺杆调整小车的平稳、水平、平行。推进时气缸锁死。 机械手分为LIFT axle 提升机械手（AC380V 伺服电机+欧姆龙驱动器+制动+编码器构成提升组成） 和水平进给的两套机械手（DC24V 伺服电机+增量式编码器+RDC2 控制器+制动器）。进给桨分为SLS 软着陆垂直动作部分（RDC2 控制器+DC24V 马达+ 限位开关））和EFM 水平进给部分(RDC2 控制器 +DC24V 马达+编码器+ 电位计) 。 炉管部分由炉门、炉身、炉尾构成。 炉门由通过Bakeoff PLC 控制气动组成单元执行，炉门也为特气的进口，此处的三通很重要，起到 气流导向作用，也防止气路堵塞。气动单元要时常检查有无行程和限位开关移动位。炉门口要时常清洁， 保障真空顺利抽下。前端的冷却水压力开关要保障正常。 炉身内部有T-PADDLE 热电偶，测温点分为5 个区。热电偶带有石英保护套管，此套管为易损件。 此套管作用为保证真空，也是保护五个点的温度稳定必要的。炉管外围也配有5 个T-SPIKE 测温点，加 热器也在炉管周身。管与管之间有水冷却板保证设备的