原创力文档- 1、本文档共7页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
MEMS传感器现状及应用_王淑华
MEMS 传感器现状及应用
王淑华
(中国电子科技集团公司 第十三研究所, 石家庄 0500 51)
:M EM S 传感器种类繁多, 发展 猛, 应用广泛。 首先, 简单介绍了M EMS 传感器的分类
和典型应用。 其次, 对M EMS 压力传感器、 加速度计和陀螺仪三种最典型的M EM S 传感器进行
了详细阐述, 包括类别、 技术现状和性能指标、 最新研究进展、 产品, 及应用情况。 介绍
MEM S 压力传感器时, 给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。
最后, 从新材料、 加工和组装技术方面对MEM S 传感器的发展趋势进行了展望。
:微电子机械系统 (M EMS );传感器;加速度计;陀螺仪;压力传感器
:TH703 :A :1671-477 6 (20 11)08-0516-07
Current Status and Applications of MEMS Sensors
Wang Shuhua
(Th e 13th R esearch I ns titute, CE T C, S hij iaz huang 0500 51, Ch ina)
Abstract:MEMS sensors feature great varieties, rapid development and w ide applications.Firstly,
the categories and typical applications of M EMS sensors are introduced briefly .Then three typi-
cal M EMS sensors, i.e.the pressure sensor, accelerometer and gyroscope are illustrated in de-
tail, including the subdivision, current technical capability and performance inde , latest research
progress, products and their applications.Besides that, the research status of the M EM S pres-
sure sensor using new materials for the e treme environment at home and abroad is presented.
Finally, development trends of M EMS sensors are predicted in term s of new materials, proces-
sing and assembling technology.
Key words:microelectromechanical sy stem (M EMS );sensor;accelerometer;gyroscope;pres-
sure sensor
DOI:10.39 69/j.issn .1671-477 6.20 11.0 8.00 8 EEACC:2575
, M EMS ,
0 引 言
。 、 、 、
MEM S M EMS ,
, M EMS 。 。
1962 , 、
MEM S , M EMS , MEM S 、 、
。 M EMS 、 、 、
:2011-04-06
E-mail:1117shuhua @163.com
516 M icronanoelectron i
文档评论（0）