JJL500型多晶硅铸锭炉操作手册-精工科技.pdf

JJL500 型 多晶硅铸锭炉 浙江精工科技股份有限公司 版本 1.0 目录 1. 操作界面 1 1.1. 菜单按钮 1 1.2. 报警窗口 1 1.2.1. 最大压力2 1.2.2. 压力偏差报警2 1.2.3. 真空阶段压力变化量超限2 1.2.4. 真空阶段最大压力3 1.2.5. 氩气流量偏差3 1.2.6. 加热器断开3 1.2.7. 失去主电源4 1.2.8. 主电源缺相4 1.2.9. 温度偏差5 1.2.10. 最大温度5 1.2.11. 泄漏检查5 1.2.12. PLC 电量不足5 1.2.13. 压缩气体不足6 1.2.14. SCR 故障6 1.2.15. 控制器错误6 1.2.16. UPS 错误6 1.2.17. 隔热板运行故障7 1.2.18. 高温计不在原点7 1.2.19. 硅液可能溢流8 1.2.20. TC1 热电偶故障8 1.2.21. 交换台热电偶故障9 1.2.22. 交换台温度过高9 1.2.23. 未找到工艺文件10 1.2.24. 硅块可能熔化完毕10 1.2.25. 中央结晶结束11 1.2.26. 边角结晶结束11 1.2.27. 冷却水流量报警11 1.3. 监控窗口 12 1.3.1. 出气控制12 1.3.2. 进气控制13 1.3.3. 压力控制13 1.3.4. 水流量14 1.3.5. 隔热板位置14 1.3.6. 电源15 1.3.7. PID 控制15 1.3.8. 温度16 - I - 1.4. 自动控制窗口 16 1.4.1. 自动运行17 1.4.2. 正常启动/定时启动17 1.4.3. 保存工艺17 1.4.4. 加载工艺18 1.4.5. 自动运行过程中的步骤跳转19 1.4.6. 抽气控制19 1.4.7. 参数表20 1.4.8. PID 值27 1.4.9. 需要输入密码的手动控制27 1.5. 工艺窗口 28 1.5.1. 工艺的各参数29 1.5.2. 工艺的创建30