JB 6922-2004-T 真空蒸发镀膜设备.pdf

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ICS23.160 J78 .r!ICi 中华 人 民共 和 国机 械 行 业 标 准 JB/T6922-2004 代替JB/I6922-1993 真空蒸发镀膜设备 Vacuumevaporationcoatingplant 2004-10-20发布 2005-04-01实施 中华 人 民共 和 国 国家 发展 和 改革委 员会 发布 JB/T6922-2004 目 次 前言,.-…… ,,……二‘,一…‘ ..‘…,一 1 范围……,-一 ..‘...…… ‘..…,,,.二..‘…… ‘.价二 ‘.价一. 一.一...一… 2 规范性引用文件……,二 ‘,.,.… ,二价二,·······,·······价··一·一··一· ··一···… 3 型式与基本参数.. ……,,… …,.二 ‘..…,,...……,········,.············· ··…… 3.1结构形式...一 .-‘…,-.…,二,二 , ···‘··············.… 3.2 基本参数.……,……,… …,..二,...··········.·.·······.··.···…·‘… , 3.3 型号,.-.… ..‘...-一 …‘…,… …‘ ,.. .…,,-… …,.,,..…‘ ,.-...一t.-...价 ...-.… 一 , 4 技术要求 … …,..-‘-.---..… ,‘-一...…… ﹄ 气 4.1 工作环境条件…… t..…价…,..…… ,,-... …… ,.···········.··············一·‘ 一 ﹃ 4.2 结构要求--…,.-..一 .…‘ ,-… ,..一 t‘一..一 一 你 4.3 制造要求 ----.-..-…… ,,---..-一,... ‘ 气 4.4 安全防护要求一 …‘…,,一,..·······‘二 、 5 试验方法..--… ,.-..二..‘…,.,,-.--一t…… 月 5.1 极限压力测量… … ,..- …… ,……,… 月 5.2 抽气

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