07周切片车间品质例会资料.ppt

2011年 技术质量中心第07周 质量回顾报告 07周各目标达成状况 切片车间开方合格率目标值≥99.8% 1、线开方不良位置统计 2、线开方不良机台 3、线开方不良班次统计 07周切片车间误截尺寸统计 07周切片车间崩边统计 4、切片三部崩边不良岗位及班次 07周切片车间半成品一次送检合格率 07周切片车间半成品一次送检合格率 07周断线损失统计 目标值≤2% 07周断线损失统计 目标值≤2% 切片二部损失及班次统计（MM） 切片三部损失及班次统计（MM） 切片一部断线机台统计 切片二部断线机台统计 切片三部断线机台统计 07周切片一部IPQC现场稽核不良统计 07周切片三部IPQC现场稽核不良统计 07周切片车间质量状况小结： 切片一部质量小结 1、本周MB区工艺整合，规范热机，要求7分钟来回走线，2分钟干甩，6分钟来回走线（共15分钟），A班出现4刀热机时间不够，或省去中间干甩步骤，开机，待改善。 2、清洗处发现晶棒导向条面崩边本周共有173片，待改善。 07周切片车间质量状况小结： 切片三部质量小结： 1、粘棒处金属垫条仍有未编码，不利于金属垫条的跟踪，待改善。 2、脱胶处近期头尾粘胶面崩边较多，原因待分析，待改善 3、切片处多次出现晶棒固化时间不够便挂机或开机，待改善。 硅块分选07周质量回顾报告 硅片分选 A品率 目标值≥90% 07周多晶硅片不良统计比率 切片一部HCT A品率 目标值≥90% 分选一部HCT 07周影响A品率的主要不良项比率 分选一部HCT影响A品率的主要不良项比率 切片一部MB A品率目标值≥90% 分选一部MB 07周影响A品率的主要不良项比率 分选一部MB 影响A品率的主要不良项比率 切片二部MB A品率目标值≥90% 分选二部 07周影响A品率的主要不良项比率 分选二部影响A品率的主要不良项比率 切片三部MB A品率目标值≥90% 分选三部 07周影响A品率的主要不良项比率 分选三部影响A品率的主要不良项比率 07周硅片分选质量状况小结： 返回 90% 90% 90% 90% 90% 目标值 90.13% 89.97% 89.74% 90.70% 89.85% A品率 809059 717588 153831 818189 800480 A品片数 897643 797567 171426 902069 890870 理论片数 7周 6周 5周 4周 3周 (一部)项目 90% 90% 90% 90% 90% 目标值 90.90% 91.69% 88.81% 90.98% 89.20% A品率 1666433 1332731 191856 1596391 1597452 A品片数 1833264 1453576 216020 1754622 1790867 理论片数 7周 6周 5周 4周 3周 (二部)项目 1、硅片分选 A品率 目标值≥90% 90% 90% 90% 90% 90% 目标值 92.06% 90.79% 91.83% 93.33% 92.39% A品率 787314 594417 16144 359520 337663 A品片数 855261 654739 17580 385224 365484 理论片数 7周 6周 5周 4周 3周 (三部) 项目 90% 90% 90% 90% 90% 目标值 89.78% 90.59% 89.66% 91.64% 91.68% A品率 421629 363714 85352 430466 412294 A品片数 469647 401511 95195 469753 449693 理论片数 7周 6周 5周 4周 3周 项目 90% 90% 90% 90% 90% 目标值 90.52% 89.35% 89.83% 89.69% 87.99% A品率 387430 353874 68479 387723 388186 A品片数 427996 396056 76231 432316 441177 理论片数 7周 6周 5周 4周 3周 项目 90% 90% 90% 90% 90% 目标值 90.90% 91.69% 88.81% 90.98% 89.20% A品率 1666433 1332731 191856 1596391 1597452 A品片数 1833264 1453576 216020 1754622 1790867 理论片数 7周 6周 5周 4周 3周 项目 90% 90% 90% 90% 90% 目标值 92.06% 90.79% 91.83% 93.33% 92.39% A品率 787314 594417 16144 359520 337663 A品片数 855261 65