原创力文档- 1、本文档共5页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
IC检测的图像预处理及芯片定位
671 4598 31503 中围分类号：TP23 文献标识码：B
文章编号：1 i 2005】12—1
IC检测的图像预处理及芯片定位
戚其丰，廖广军，胡跃明，张 浩
华南理工大学自动化科学与J二程学院，广东广州 510640)
摘要：垒r{动上．出机是用于芯片生产后]：序的芰键设备之，，机器视觉伺服系统是提高浚设备产能和质量的关键系统，而图像预处
理干¨．出片定位是其机器视觉的芰键技术之 。为r消腺采集图像与真宴图像之间的差异，实现芯片精确定位，采用巾值滤波算法和直方
罔算法实现图像的去噪和增强．井分析T图像相似性测量算法实现快速模板匹配。变验结果证明r算法的有效忭和可靠性．为进一步提
高芯片缺陷柱测的精度提供了保障
关键词：=争自动f、芯机；图像预处理；芯片定位·图像相似性测量法
Detection
and forIC
ImagePreprocessingChipPositioning
Qj Hao
Q{feng，I。iao(；uangjun，HuYueming，zhang
Sci咖eand uIllChina of 510640，China)
ofAut。mauon En91neefing，SoUnive州yTechnoIogy．Guangzhou
(college
for and
^hstrAn：n、e W印roc亡s甜ngch印p。}11…“g
B帅dmg涨K㈨㈣￡o“l、。pfm～ary￡qulp…tsch巾pTodunlo“p㈣ss．1m89c
ln thed；fkreTlcebetwcenlhe data
are ofth㈣acllI…1sl帅whichhas grab～{mage
keys be…pplld1h…r旷syst…ldelyT㈣tlgate
noiset f。r
data’and FjltermgaIgoiIhtn hIslog…alguHthm
an(I“…Pal…ld…gcth…Pall…¨pl’ositl。niog，Med】an f…“PPrcssmg
are lnt¨8
enhancemenlalld matchlngproposedp3per．Th㈨pe¨mentdat㈣科a¨ls
edgmg 1tTl雄feI黜imI‘ymeasu㈣190rlthmfo。pallPrn
LhP…ellenteffIclcncvandthere}iabllitvaboIltthealKorIrhms
dIe
words：aulomatlfmachlno；inlag。pr9pro【esslng；chipposnlonmg}㈣x彻1’y…叫algoⅢhm
Key bondmg
o前言 生产能力具有重要的科学
文档评论（0）