原创力文档- 1、本文档共7页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
表面分析技术在材料研究中的应用.pdf
维普资讯
第 31卷第 2期 金 属 材 料 研 究 Vo1．31，No．2
2005年 6月 RESEARCH ON METALLIC MATERIALS June．2005
表面分析技术在材料研究 中的应用
徐炜新
(宝钢集 团上海五钢有限公司 上海市金属功能材料重点实验室 上海 200940)
摘 要 简要叙述 了在材料科学中常用的三种表面分析技术 AES(AugerElectronSpectroscopy)、XPS(X—ray
PhotoelectronSpectroscopy)和 SIMS(SecondaryIonMassSpectroscopy)的基本原理和装置 。介绍 了它们在这一
领域 中的部分应用 。
关键词 表面分析 AES XPS SIMS
EngineeringApplicationofSurfaceAnalysisTechniquesin’MaterialsResearch
Xu W ei．xin
(BaosteelGroupShanghaiNo．5SteelCo．，Ltd．，ShanghaiKeyLabofFunctionalMaterials，Shanghai，200940)
ABSTRACT SurfaceanalysistechniquesofAES(AugerElectronSpectroscopy)，XPS(X—ray
PhotoelectronSpectroscopy)andSIMS(Secondary Ion MassSpectroscopy)are introduced
briefly．SomeEngineeringapplicationsofthem inmaterialssciencearegiveninthispaper．
KEY W ORDS surfaceanalysis，AES，XPS，SIM S
0 引 言 块体分析
； 、
· ：·：·：·： 薄膜分析
固体表面 ，或者界面 ，它的许多特性与其体 内 晰
往往有很大的差异 ，它构成 了物质 的一个特殊非
均匀相 。这是因为表面是固体 的终端 ，固体 内部
●o o
三维周期势场在表面 中断，这形成 了表面 的化学 o o o o 戛
●o oo 0
o o oo oo
组合、原子排列、原子振动、电子结构和体 内的
文档评论（0）