台式扫描电镜产品对比表_飞纳与日立.pdf

台式扫描电镜对比表： Phenom飞纳 vs. 日立钨灯丝台扫 分辨率 优于17纳米 无官方数据 表征扫描电镜性能的最重要参数 标准金样品 放大倍数 80-100,000x 15-30,000x 见最后一页高倍照片 光学放大 20-120x 无 除光学放大之外,还可以实现样品 导航 电子枪灯 CeB 晶体 钨灯 6 CeB6晶体色差低、亮度高（单位面 低亮度，40-80h寿命 用来发射电子信号，单位束斑面积 积产生的信号是钨灯丝10倍，如下 图所示）1500 h寿命，这种灯丝要 内电子数目越多，则从样品表面反 求在高真空环境下使用，然而成像 又需要低真空，因此要求制造商具 馈回来的电子信号越多，对样品该 备顶尖的真空分离和真空封锁技术。 区域形貌的表征细节越 丰富，高亮度、低色差 灯丝有助于提高图像分 辨率。 蓝色部分为被观测区域 蓝色部分为被观测区域 产生的电子数目，电子 产生的电子数目，电子 数目越多，细节越丰富 数目越多，细节越丰富 加速电压 5kV ，10kV ，15kV 5kV ,15kV 使用CeB6灯丝，即使在低加速 钨灯丝亮度低,对加速电压要求高, 电压下，图片分辨率仍很高而且 5kV下图像质量差 高加速电压可以提高分辨率，但会 细节丰富。 造成样品的损伤和穿透效应，对低 原子序数样品尤为严重，真正体现 扫描电镜的技术含量是低电压下仍 能得到高分辨率。 低真空技术 真空度最高60Pa 真空度最高50Pa 可实现不导电样品不喷金直接观看。 Phenom world （源自飞利浦） 日立在低真空领域并没有世界 扫描电镜充电现象的原因是因为， 其 Quanta环境扫描系列电镜 领先的技术，且没有舱分离的 当被观测样品不导电时，样品表面 利用低真空技术直接观察活体， 设计，低真空模式下会严重影 累积电荷形成电场，影响新入射电 且真空分级设计保证低真空下 响钨灯丝寿命：灯丝使用的时 子轨迹，图像发白，无法观看。喷 灯丝寿命不受影响，灯丝舱与 候达到2000多度，此时舱内 金可使绝缘体导电，将累积电子通 样品仓是完全隔离的。以下为 空气含量高，灯丝易氧化，寿 过地线导走，但是增加前处理程序。 头发8000倍照片未充电