基于质谱检漏仪的氦、氢介质检漏的研究.pdf

第23卷 第2期 仪器仪表用户 EIC Vo1．23 2016年2月 NSTRUMEN ION 2Ol6 No．2 基于质谱检漏仪的氦、氢介质检漏的研究 黄文平，朱长平 (安徽皖仪科技股份有限公司，合肥 230088) 摘 要：本文从质谱检漏仪的基本原理及标定原理出发，实验探讨质谱检漏仪氦、氢模式下的离子加速电压，以及 氦、氢介质检漏时的漏率信号，分析产生这些现象的原因，总结出影响这种结果的诸多因数。 关键词：质谱检漏4z；定标；标准漏孔；加速电压 中图分类号：TH 文献标识码 ：A 文章编号：1671-1041(2016)02—0005—03 BasedonQualitySpectrumLeakInstrumentofHelium，andHydrogen MediaLeakofResearchMr HuangWenping,ZhuChangping (AnhuiWaninstrumentTechnologyCorporation，Hefei，230088，China) Abstract：paperfromqualityspectrum leakinsturmentofprincipleandthecalibrationprinciplestarting，experimentdiscussion qualityspectrum leakinsturmenthelium，andhydrogenmodeXiaofionacceleratedvoltage，andhelium，andhydrogenmedia leakShiofleakratesignal，analysisproducedthesephenomenonofreasons，summaryouteffectthisresultsofmanyfactor． Keywords：massspectrometerleakdetectorscannercalibrationstandardleak；acceleratingvoltage 式中：R——离子偏转轨道半径 (cm) B——磁场强度 (T) 质谱检漏仪的探索气体种类多用性使用越来越广泛 ， u——离子加速电压 (V) 仪器的多用性即一种检漏仪能使用二种示踪气体检测需求 MZ／——离子的质荷 比 (离子的质量与电荷的 越来越普遍。如：氦氢质谱检漏仪，这种质谱检漏仪能完 比值) 成对氦气或氢气的检测，提高了仪器的多用途性，增加了 由上式可知，当R、B为固定值时，改变加速电压可使 仪器的使用面。鲜有文章对这类质谱检漏仪的氦、氢介质 不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。被 检漏进行对比研究，本文从质谱检漏仪的标定出发，对比 检测的气体是固定的 (He气)，即质荷比M，z是已知的，因 标定后质谱检漏仪的离子加速电压，分析氦、氢介质检漏 此只要调整好加速电压，使He离子能通过接收缝到达接收电 的漏率信号。 极，而使其他离子不被接收，接收电极接收到的He离子流经 过放大后用于指示漏率。其他离子被离子检测极接收。 1 质谱仪检漏仪原理 1．1质谱检漏仪基本原理 氦质谱检漏仪主要是运用磁质谱理论和逆扩散理论及 鞍 璧离子 质谱分析方