基于激光散射光分布的表面粗糙度在线测量方法.pdfVIP

学兔兔 《仪器仪表与分析监测》201 3年第1期 基于激光散射光分布的表面粗糙度在线测量方法 The On-line Surface Roughness Measure based on Laser Scattering Principles 姜耀东 (北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院，北京 100192) [摘要] 介绍了基于光散射原理的激光测量装置非接触在线检测表面粗糙度。它利用半导体激光器 为光源，CCD摄像头接收与表面粗糙度具有对应关系的散射光带，可同时得出表面粗糙度的值和试件表 面纹理一致性的关系。并采取多种抗干扰措施，保证其可以对试件进行非接触在线检测。 [关键词] 表面粗糙度；在线检测；纹理一致性 [中图分类号] TN247 [文献标识码] A 干涉法、微分法、外差干涉法、散斑法、临界角 引言 法、反射光能法即反射散射比法等)则没有触针 表面粗糙度是用于描述表面微观形貌最常用 式仪器的不足之处 J，在现代工业有着广泛的应 的参数，它反映了机械零件表面的微观几何形状 用前景。 ． 误差。当今工业生产中大范围普遍采用的是触针 为了达到全面评价表面，并实现在线测量表 式表面粗糙度测量仪器，这种接触式的表面粗糙 面粗糙度的目的，本文采用一种基于反射散射比 度测量方法由于它的作用原理使其存在一些缺 法测量原理的表面粗糙度测量方法。这种方法具 陷，如易划伤软性材料工件表面、测量速度低、 有测量速度快、仪器简单等优点。在该仪器的设 测量力要严格控制、测量范围小且只能实现表面 计中，考虑了一些实际测量表面粗糙度过程中的 粗糙度的一维测量，尤其难以实现粗糙度的自动 各种不稳定因素，并在设计中采取了一些抗干扰 化在线检测 5I¨。而采用光学原理的表面粗糙度 措施，使基于激光散射法的在线表面粗糙度测量 非接触测量方法 (如光切法、光点变位法、光波 成为可能。 七 七 七 电 (接上页) 参考文献： 应用[J]．工业工程，2009，12(1)．136—139． [1]Lucchetta，G．，Bariani，P．F．，Knight，W．A．． [6]何川，张志远，张殉．TRIZ的研究与应用 [J]．机械 Integrated design analysis for product simplification[J]． 工程师，2004(7)．3—6． CIRP Annals — Manufacturing Technology，2005，54 [7]李恩田．基于TRIZ理论的产品技术进化预测 [J]．机 (1)：147—150， 电产品开发与创新，2006，19(4)．45—47． [2]徐起贺．基于TRIZ理论的机械产品创新设计应用研究 [8]益鸣，丁明芳．应用TRIZ进行技术预测 [J]．研究与 [JJ．河南机电高等专科学校学报，2010，18(I)．1—3． 发展管理，2004，16(5)．77—81． [3]张治安．射出成型装置 [P]．20082009557