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信息技术快报5-9-集成电路技术.pdf
3 9 Vol. 3.No.9
Information Technology Letter Sep.2005
Information Technology Letter
2005 3 9 (28 )
: 2005 9 6
,
20 70
1999 1250
,GNP 3%l~2
10 , 100 GDP[5]10
,15%, 2010 6000~8000
30%2000 2004
3 2000 1.2%3.7%
CMOS1 2 3
SiGe AsGa
CMOSCMOS
MOS1/2 metal pitchmetal pitch = +
1/2poly pitchpoly pitch = +
[1]
Moore
0.13µmIntelTIIBMIDM4
90nmITRS[3]80nm1/2 pitch
2008 57nm 1/2 pitch[1]
1 Complementary Metal Oxide Semiconductor
2 Silicon Germanium
3
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