SiHCl3流化床制备粒状多晶硅研究进展.pdf

第 44卷第 2期 当 代 化 工 Vo1．44．No．2 2015年 2月 ContemporaryChemicalIndustry February，2015 SiHCI3流化床制备粒状多晶硅研究进展 杨 恺 ，赵 颖 (1．无锡中彩科技有限公司，江苏 无锡 214183； 2．南开大学 电子信息与光学工程学院，天津 300071) 摘 要：综述了近年来关于三氯氢硅 (SiHC1)流化床制备颗粒状多晶硅工艺技术研究状况 ，详细介绍了 国内外关于颗粒状多晶硅制备流化床设备的设计思路及制备情况 ，并讨论了反应器制备方法对产品纯度的影 响，分析了 “热壁流化床”的技术缺陷， “冷壁流化床”的技术优势，对下一步流化床技术发展进行了展望。 关 键 词：三氯氢硅烷；流化床；粒状多晶硅 中图分类号：TQ127．2 文献标识码： A 文章编号： 1671—0460(2015)02-0301-04 ResearchProgressinthePreparationTechnologyofGranular PolysiliconW ithSiHC13FluidizedBedReactor YANG Kai ，ZHA0Ying2 (1．WuxiZhongcaiTechnologyCo．，Ltd．，JiangsuWuxi214183，China： 2．CollegeofElectronicInformationandOpticalEngineering，NankaiUniversity，Tianjin300071，China) Abstract：Recentresearch statusofgranularpolysilicon preparation technology with SiHCl fluidizedbed was reviewed．Thedesignideasanddevelopmentstautsoffluidizedbedreactorforrganularpolysiliconpreparationwere introducedindetail．Theinfluenceofreactorpreparationmethodsontheproductpuritywasalsodiscussed．Technical defectsof”hotwallfluidizedbed”wereanalyzedaswellasadvantagesof”coldwallfluidizedbed”．Finally, developmenttrendofthefluidizedbedtechnologywasprospected． Keywords：SiHC1：Fluidizedbedreactor：Granularpolysilicon SiHC1流化床法是制备太阳能级颗粒状多晶硅 式反应器产率高。多晶硅颗粒逐渐长大，沉落到流 主要工艺技术之一。目前为了突破光伏行业硅料制 化床底部 ，由产品出口排出流化床，通过密封连接 备技术瓶颈，引起国内外研究学者关注，本文就近 系统进入到产品储存室，在高纯氢气保护下冷却到 年来国内外该制备技术原理、设备设计及技术难题 室温，经过隋性气体置换后，密封包装。传统流化 等研究进展作综述。 床结构如图1。 传统石英材质流化床结构简单 ，不能承受压 1 传统流化床反应器的装置示意图及 力，石英部件连接密封困难等等，存在很多技术缺 原理