扩散型固体压力传感元器件国外概况_夏姿详解.pdf

踌组二二闰 扩散型 固体压力 传感元器件国外概况 . 沈 阳 仅 器 仅表工 艺研 究 所 夏 姿 摘 要 扩 散型 压力传 感元 器件 自七十 年代 问世 以 来 , 发展 十分迅速 。 由于它有 诸 多优 点 , 受 到许 多技 术先进 国家 的重 视 。 本 文叙 述 了该 元件 的 特 点 、 发 展 简 御 史 、 用途 、 国外 研制 情况 及国外 技术 水平情 况 , 并对 今后 的研制 提 出几点粗浅 看法 , 仅供 有关 人员参 考 。 , 已 、 由于 半 导体应 变 片具 有上 述优 点 广泛 一 述 。 概 地应 用于 测量技 术和 自动化 系统 中 它 主要 应 . 、 1 从半导 体应 变 片到扩散 型应变 片 用 于 测量 各种 参量 的传感 器 上 , 如 压 力 位 . . 、 、 、 、 、 、 自从 1 9 5 4 年 施密 斯 ( C C S m i t h )发表 了锗 移 应变 加 速度 力 矩 力 流量 湿度 等 和硅的半 导体压 敏 电阻效应 以后 , 贝尔 电话实 传感 器 。 可 用 于信息 的检 测 、 系统 的控 制等 。 、 、 验 室在 1夕5 8 年 就研 制 出了半 导 体应变 片 , 1 9 70 目 前它 已 广泛 地应用 于仪 器 仪 表 机 械 运 。 、 、 、 、 、 、 年 己 有正 式产 品在市场 上 出售 输 原子能 宇宙航行 化 工 石 油 水利 半 导 体应 变 片的优 点如下 : 医 学 、 体育