GAS SYSTEM施工规范(洁净管路).ppt

GAS SYSTEM施工规范;一.管路的连接---较常见的有以下五种：;;2. VCR --- 主要用于VMP/B`机台及阀件的连接安装手续照下列步骤 1检查配件是否损伤。 2GASKET及GASKET RETAINER装上本体GLAND，但须小心不伤及本体。一旦有伤痕全体的密封度会受影响。;3.NPT接头安装;4．Flange 接头安装 1．Flange接头用于大型阀件连接处；施工前检查Flange是否有瑕疵，并确定清 洁材料表面。 2．将Flange以氩焊焊接与连接处，将管子插入距Flange正面2-3mm深度处点焊 之；用手焊机将Flange正面延圆周焊接一圈，用同样方法再焊接Flange的背面；如果先焊Flange背面，极可能会污染Flange正面而导致漏缝，因此务必先焊Flange正面部分。 3．焊接时需注意与工材连接成垂直状，焊道不得有孔，焊渣及龟裂细纹产生，外部不允许因过火导致色异。 4．组合各阀件时，于阀件间置???一垫片（铁弗龙）再用手将螺丝固定、螺栓固定方式以对角法依序装置。  5．调整组合阀件之水平，使成一直线；再以开口扳手依对角方式螺紧各螺栓。 ;二. 管路的架设; 1Specialty Gas（无盘组，由VMB/VMP取代） 2Bulk Gas EP级由Diaphragm Valve+Regulator+Gauge+Filter组成（有时加装止回阀，以避免气体回 流污染气源） BA级由Ball Valve+Regulator+Gauge组成注意：配管时有关闭二次盘组Parts之构造须与业主讨论后才能定案。; 焊接工作区域: Class 100 用于焊接、预制管件。;1． 预制工作（在简易洁净室clean booth）;1-2.架设程序 将工作管路两端套上管套，连接冲吹气体及阀;1-3.储存及搬运;5.以U形束固定配管时、须考虑配管热胀冷缩和地震等异常状态的发生、不可束太紧、 6.配管可能受振动的场合、须与支持物及配管之间加入振动缓冲材料。7.固定配管时、必须考虑未来需要、保留空间。8.室外配管及地下埋设配管须采用防腐蚀对策。（特别是埋设配管时须与专家详细商量）9．一般配管固定如下图设置：; 11．支持物的制造须根据半导体规则、避免表面伤痕。 12．配管支持用材料也必须实施禁油处理 13．建筑物有伸缩缝时，管路需装膨胀节，并于膨胀节前后以固定支撑加固。 2.双层管---主要用于高危险气体（剧毒`自燃）  收尾环---连接内管和外管 压力侦测器---安装于VMB上端易于识别的位置（-14psi）;3.保温施作有些气体常态下为粘稠液态气体，室温的饱和蒸汽压均小于10Psi，易造成管线阻塞，需包加热套，提高气体蒸汽压，才能充分供应气体。如：DCS、CLF3、WF6注意：确定感温棒接触加热带及管壁 ;三. 弯管作业规范;hook up 弯管主要采用5倍弯管器（主系统采用较大倍数的弯管器，如 7倍`10 倍，以改善流通性） 1．比较图面上两端，由短方面先开始弯曲。;四. 管路的切割铣面;2. 小口径配管（1/4”—1/2”）; 1.保证Cutter与管材垂直，以免损伤刀片。 2.一次进刀不可过深，否则会使切口变成椭圆，并有损Cutter,把手每次旋转角度30°即 可。开始切割时，必须前后旋转3-4次半周，以保证端口在同一水平面。 3.切割完毕，检查切口时，要使管材倾斜，由下往上看，以防止切屑进入孔内附着。 4.检视切断部外径不得产生螺旋划痕。 5.切管完毕后，切断部会形成锥状，并有毛边产生，使用端面机修整切断部，致形成一平面以利焊接： 1端面机不可一次进刀太多或转速太快，以免因过热而使端口氧化 2保证管材与端口成垂直状态。 3倒角修除毛边，倒角器要垂直于端口，使管材倾斜向下，防止铁屑进入管内。注意：管路修改时，应尽量避免垂直切割，切割时必须用大流量Ar冲吹。;;;;五. 熔接规范（自动焊）; 4．调整数据及前后吹气时间 前后吹气时间不可低于10秒。;8．注意事项：; bBA (Bright-annealed)级：光辉烧纯管（热处理） cEP (Electrolytic polished)级：电解抛光 dVIM+VAR（降低管内杂质及增加抗腐蚀性）;外焊道的宽度（C）须小于3倍的管厚（T）；内焊道的宽度（C1）需大于1.5倍的管厚小于2倍壁厚（T）;3. 焊道厚度的要求：; O.D.界于1/4”~80A时，上凸容许值（Y）须小于10%管厚（T）；O.D.大于 80A时，上凸容许值（Y）须小于15%管厚（T）。;O.D.大于50A时，方可允