半导体物理（刘杨2013）薄膜电阻-方块电阻.pdfVIP

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2017-04-08 发布于浙江
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半导体物理（刘杨2013）薄膜电阻-方块电阻.pdf

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1 薄膜电阻(方块电阻) （Sheet Resistance） A L R ?? tW L ? ? ? W L t ? ? Unit：（?）定义： t Rsh ? ? Unit：（?/?, or ohms /squre） W L RR sh? 薄膜的总电阻为方块电阻与长宽比的乘积。 t L W I L W I 2 W L RR sh? 薄膜的总电阻为方块电阻与长宽比的乘积。 3 WRW I V I/W V J V r l l ????? 单位宽度的电阻：[量纲：电阻?长度] [单位：??mm] 由可推导出： W L RR sh? 线电流密度 [量纲：电流/长度] t L W I I/WJ l ? LRr shl ? L W I Rsh 4 薄膜载流子面密度（Sheet carrier density）单位：（cm-2） tn WL WLtn S Vn S N ns ?? ? ? ? ?? 以n型半导体为例，电子浓度为n t L W I 则上图中的薄膜载流子面密度为： S L W I ns 5 薄膜电阻与载流子面密度由：以n型半导体为例，电子浓度为n t L W I nen? ? 1 ? 得： ? ?tneμtenμt ρ R nn sh ? ? ? ?? 11 ns sh μen R 1 ?所以： L W I Rsh ns 6 线电流密度与载流子面密度以n型半导体为例，电子浓度为n t L W I 线电流密度： venentvtJWt/wJI/WJ sl ??????? 面电流密度： envJ ? venJ sl ? 在低场情况下： μEenvenJ ssl ?? sh l R E J ? 7 方块电阻、薄膜载流子密度电学参数体材料 (bulk) 薄膜材料 (film) 关系载流子浓度 n(cm-3) ns(cm -2) 电流密度 (mA/cm2) (mA/cm) 电阻 (??mm) (?/□) nen? ? 1 ? ns sh μen R 1 ? envJ ? venJ sl ? sn nt? sJ Jt? shR t ? ? 对于n型半导体 ??? shR??