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新型MEMS光开关的研究.pdf
第八届中国光电通信论坛会议论文集
EM
新型M S光开关的研究
王巍霓张名亮唐棣芳
(上海交通大学技术学院)
关的原理,结构与分类。并详细地讨论了几种最新型的MEMS光开关技术,同时分析比较了这
些元件的工作原理与应用上的优缺点。在论文的后面部分作者设计并分析了一种新型的硅基
PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动的光开关,并提供了一种新型硅基PTZ压电复合膜悬梁驱动光
开关的制作方法,希望能为新型光开关的研究和发展提供一定的理论依据和参考。
关键字:MEMS,新型光开关,PTZ,悬臂梁,微镜
ReserchofNew
MEM8 Switches
Optical
Weini
Wang ZhangMingliangTangDifang
of
(TechnoloyCollegeShanghaiJiaotongUniversity)
Abstract:Thefeaturesand ofMEMSare introduced
applications briefly
andthe andclassificationsofthe switches
principles,structures optical
basedonMOEMSareelaboratedinthis detailed
article.Meanwhile,the
and ofthe and
analysiscomparison
ofthe MEMS switchesare
disadvantagesnewly-made
optical
anovel
made.FurthermoreswitchactuatedPZT
optical by piezoelectric
cantileverbasedon
multiple-一layer siliconis intheendofthe
designed
whichthe of andthedetailed
paper,in waydesign manufacturingprocess
arealsodiscussedinordertobrazeanewtrailto therobustnessof
gain
theresearchin unknowMEMS switches.
creating optical
Key
words:MEMS,newoptical
1、引言
随着光纤通信技术的发展和密集波分复用(DWDM)系统的应用,全光交换已经
成为一种趋势,光开关是实现全光交换的关键器件,在全光网络中,利用光开关可以
实现全光层的路由选择、波长选择、光交叉连接以
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