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微電子工程研究所 (一)研究所 date:95-9-16 N255700 表面技術分析 　任課老課：陳建瑞(3 學分、開授學期：碩、博) 　二度空間晶格構造?低能量電子繞射之原理與應用、高能量電子繞射之原理與應用、二次離子質譜儀之原理與應用?分子束磊成長簡介。 N270400 表面科學 　任課老課：陳建瑞(3 學分、開授學期：碩、博) 　表面科學簡介、超高真空系統?吸附與脫附、歐傑電子能譜儀之原理與應用、X-光電子能譜儀之原理與應用。 N278800 半導體光學 　任課老師：蔡宗祐(3 學分、開授學期：碩博) Electromagnetics in semiconductors，Band structure in semiconductors，Optical processes in semiconductors，Semiconductor lasers，Light propagation，Optical Wareguide，Photonic band gap (PBG theory) N250310-20 電子元件物理 任課老師：莊文魁 （6學分、開授學期：碩一上下） 課程內容包括：1. Electromagnetic wave propagation in dielectric and conductive media。2. Transmission lines theory。3. S parameters, reflections/transmissions, impedances, gains, and Smith chart。4. Metal-semiconductor junctions and heterojunctions。5. Metal-semiconductor field effect transistor (MESFET)。6. Introduction to high electron mobility transistors (HEMTs) and heterojunction bipolar transistors (HBTs)。7. HEMT device physics, models, and circuit applications。8. HBT device physics, models, and circuit applications????。 N258200 ULSI元件物理 　任課老課：陳志方(3 學分、開授學期：碩、博) 讓學生對MOSFET元件物理能有所了解。1. MOS capacitor; 2. Long channel MOSFET; 3. Short channel MOSFET;4. Reliability of MOSFET; 5. Device scaling N250300 極大型積體電路工程 　任課老課：方炎坤(3 學分、開授學期：碩、博) 　本課程是針對ULSI製作技術如Clean Room技術，晶圓Clean 技術，薄膜成長，磊晶成長，氧化，擴散，離子佈植，蝕刻術，乾蝕，金屬佈置，製程模擬，元件檢測技術作系統性之介紹，分析，與應用於各種高精度高技術之元件，或光電產品之製作。 N250500 基本VLSI設計 　任課老課：方炎坤(3 學分、開授學期：碩、博) 　本課目是針對將來有志於從事VLSI製程技術者所開的課。著重於計算機輔助基本設計理論探討與方法之介紹，MOS線路設計程序，VLSI線路設計觀念，次系統佈局與設計，大系統的設計與佈局，電腦輔助設計工具安裝之使用與簡介，各種設計規範之訂定原理，希望VLSI製程技術者借著這課程的訓練也能熟習VLSI設計理念，以便與CAD設計者互相溝通，互通有無，使VLSI之製作與設計更見精確精密。 N254800 超大型積體電路製程整合 任課老師：方炎坤 （3學分、開授學期：碩一下） 課程內容包括： Process integration for VLSI ULSI Isolation technologies for integrated circuits Contact technology Local interconnection for ULSI VLSI Multilevel interconnect technology for VLSI ULSI MOS devices NMOS process integration CMOS process integration Bipolar BiCMOS process integration Semiconductor memory process integration Process simula