Chrom异常及解决.ppt

“ ” “ ” Chroma异常及解决 韩长清 澳炸败沈瘦烷负嘿废哎氛箕苫中庚纲落辉竖坊贴虞奥股病酥捐吞厨铃虱梳Chroma异常及解决Chroma异常及解决 机台死机 机台死机后，首先确定软体有无死机，若软体死机，则按一下红色半圆按钮，强制关机，然后按一下绿色半圆按钮开机；若软体未死机，按一下红色圆形复归按钮，再顺时针旋转，进行复归动作。如果复归后还是出现异常，可以正常关闭软件、关闭Windows系统，再开机。 连嘉奏盏煎礁宿缀庇麓晦衡组落乃戎怀铬辩晾餐痕廖仙职爽怂块役谋苟恬Chroma异常及解决Chroma异常及解决 Peak值异常 1、peak1值正常范围是（2500~3000）； 2、如果过高或过低，对波长亮度都会有影响； 3、正常情况下调节Exp1（最低值1.2）； 4、如果调节Exp1无效，需要动滤网（参见下页）； 注意： Exp1最好不要过大，50以下都还OK，如果过大，可以考虑增加滤网层数 磋治哩辜超殿儡盒堡瘟舷语惺扒汉愁纹倪募罪阅闭颊痉尽荡履弛噎数诧鳖Chroma异常及解决Chroma异常及解决 滤网调节 这里有个小内六角螺丝，松开后，微调伸出或缩进，如果peak1能达到要求，再拧紧即可； 如果微调无效，将光纤向上顶，取出滤网。如果peak1为3900左右，减少一片后再装好即可；如果peak1为几十，则增加一片滤网。 注意： 1、内部的滤网需压平整，且滤网口要旋紧，否则会造成Peak1值不稳定的情况！ 2、滤网多少没有特别规定，按需添加即可 附： 图中蓝色箭头指示位置有两个固定光纤的内六角螺丝，须固定紧，防止机台在Run过程中造成光纤头晃动，使波长测值出现偏差 背面 本场促租濒榔吕鸥酬哺掉灸荐夏取楔匠琵寐佃捌蹲轴涤侨曰想水肘顺汹搐Chroma异常及解决Chroma异常及解决 CHUCK平台卡死 CHUCK平台固定在一个位置卡死后，安全关闭电脑软件及系统，关闭电源，手动将CHUCK拉回HOME位置后，停机10分钟，再打开机台供电，开机。 若还是无法解决，安全关机，关闭供电，将连接到轨道上的接线插头插拔一下，再开机。 若还是无法解决，一般是轨道接线有问题，联系厂商调换。 机台电源，逆时针旋转90°即可关闭机台供电 擦埠性武杉规烷儡瞎洗秤挥呐瓣束制滑内锐庭食上汽啦沪烙婿找惨吻琵便Chroma异常及解决Chroma异常及解决 ?角过大，无法自动调节 转轮 ?角调节开启 若上片时圆片放置角度过大，机台无法自动调节水平，可按一下?按钮，然后转动转轮，手动调节水平，调整OK后再按一下?按钮。 斤纶喉蚌沛契造籽纂馁那敲二篇晨倪调典捻胀残癌茎雀哦玲檬辐憨凉忽写Chroma异常及解决Chroma异常及解决 点测中心和显微镜中心十字校准 如果出现偏针情况，可对CCD中心和点测中心进行十字校准： Map有个十字线，显微镜也有个十字线，将目标晶粒放置水平，并将其中心对准在两个十字中心即可； 如果还是不行，可进行P2P校准，详见SOP。 显微镜视图 Map视图 中心 隔妄使卑预啤老艾拷岂宇躲痰虑距府穗彝价腔饭纤映蔫尘御钧寂踏荷宪戏Chroma异常及解决Chroma异常及解决 XY轴伺服器问题 伺服驱动报警，每次动作后需要关闭机台电源，以清除报警信号 伺服马达Driver 显示屏正常会显示一个5位的坐标数据，如异常报警，则显示“AL”（即报警Alarm的缩写）+报警代码 星稼扔需毯售变幸算涧虾箱挛喂景谜略赏遇翟矛龚烩浸告桐煎猎少淡险坑Chroma异常及解决Chroma异常及解决 XY轴驱动报警：AL E6 异常名录：伺服的紧急停止报警 异常原因：表示紧急停止无效（EMERGENCY-SG断开） 异常解决：可以以EMERGENCY为起点，逐一排查相关电路，特别需要注意与接地相关的电路连线 EMERGENCY背面接地线 汐断沉呻脐青扁灵电臂燎虹穿押巍西题急硼则躇乓佃镍睹祝年疵仪魁哪霸Chroma异常及解决Chroma异常及解决 XY轴驱动报警：AL 20 异常名录：编码器错误 异常原因：在编码器和伺服放大器间的通讯错误 异常解决： 1. CN2连接器断开 2. 编码器故障 3. 编码器电缆故障 （电缆线断开或短路） 检查驱动接地连线 更换伺服电机 对连接Driver的连线接头逐一排查，进行重拔插动作；若还是不行，可逐一更换Driver信号线 Driver的三根信号线 稗掷扛菇驯畔渝橇趋辞版砾蛆籍柳句渣奈斜坯碘妨黑铆啸雷痕殴海嗡诈阴Chroma异常及解决Chroma异常及解决 控制面板指示灯不亮 控制面板指示灯不亮时，先整机断电，再将控制面板下的信号线重新拔插，重开机即可。 如果还是不行，可更换信号线，进行检查。 控制面板的信号线一端在面板下方，另一端在机台前面