德国爱思强：用于LED制造的MOCVD技术.pdf

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2017-08-23 发布于湖北
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MOCVD Technology for LED Prof. Dr.-Ing. Michael Heuken Vice President Corporate Research and Development AIXTRON AG, Fon: +49 (241) 8909-154, Fax: +49 (241) 8909-149, Email: M.Heuken@AIXTRON.com RWTH Aachen, University of Technology, Templergraben 55, D-52074 Aachen, Germany Outline Introduction Basic MOCVD Technology Advantages of Showerhead MOCVD Reactor The Planetary Reactor LED Processing Conclusion 08.10.2010 P 2 Example of Products with LEDs Samsung LED-TV 9000 Series ▪ LED Monitor Dell G2410 ▪ LED Toshiba Portégé R500 AIXTRON AG, Aachen Audi R8 LED Headlight ▪ Nimbus LED Ceiling Light 12 W ▪ LED Street Lighting 08.10.2010 P 3 MOCVD = Metalorganic Chemical Vapor Deposition 08.10.2010 P 4 Compound Semiconductor Systems Leading edge design to manufacturing Planetary Reactor® Flexible wafer configuration from 2”-300 mm AIX 2800G4, 42x2” Configurable common platform Integrated automated solutions Customized turn-key solutions Proven industry standard market leader Integrated Concept (IC) System Close Coupled Showerhead® ®