《YAG激光打标机变焦f-theta镜扫描系统》.pdf

第39卷 第1期 激光与红外 V01．39．No．1 IASERINFRARED 2009年1月 ＆ January，2009 文章编号：1001-5078(2009)01-0014-04 ·激光技术与应用· YAG激光打标机变焦f-theta镜扫描系统 高润梅1，高 贵2，常胜江3，史新刚3，傅儒廉3 摘 要：为Nd：YAG激光打标机设计了变焦距f-them镜扫描系统，以使它适用于不同的打标面 积而不必更换镜头，系统由四片透镜组成，材料分别为BK7、SFl8和SFll，系统总长度为 场、0．7视场和全视场的光斑都落在相应的爱里斑以内，系统的MTF曲线接近相应的衍射极限 曲线，最大波像差小于四分之一波长；系统的最大场曲和最大f-theta相对畸变都很好地满足了 国内激光打标机的精度要求。 关键词：激光技术；f-them镜；变焦；畸变 中图分类号：TN249；TH741．1+2文献标识码：A YAGLaser MachinesZoom Marking f-them-scanning System GAO Ru—lian3 Run-meil，GAOGui2，CHANGSheng-jian93，SHIXin—gan93，FU (1．GuilinUniversity ofTechndogy，Guilin541004，China；2．CollegeofScience，TianiinPolytechnicalUniversity。 ofModem 300160，China；3．Institute Tianjin Optics，NankaiUniversity，Ti锄jin300071，China) varifocalf-themlensWaS for laser scan thatit Abstract：A Nd：YAG todif- designed makingfocusingsystem，SOapply fer areabut alens consistsoffour andSFll． making change necessarily．Thesystem lens，madebyslassBK7，SFl8 Thetotal ofthe is at theminusaberrationoff-themlensandmachine length system122．96mm，working1064m．Using zoom threealterablefocus was two focal ofthe effective ale350tara principle，the systemdesigned．The lengthssystem and