汉虹单晶炉操作规程.pdf

浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q02-09 版本号：A/1 页码：第1 页 共35 页 单晶炉操作规程 生效日期：2008 年5 月30 日 一、目 的： 为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常进行，特制订本规程。 二、范 围： 适用于FT-CZ2008 型单晶炉的操作。 图1 FT-CZ2008 型单晶炉 图2 操作柜 三、依 据： 依据为直拉法生长硅单晶的工艺和FT-CZ2008 型单晶炉的性能。 批 准 审 核 编 制 修改履历 页 码 内 容 状 态 备 注 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q02-09 版本号：A/1 页码：第2 页 共35 页 单晶炉操作规程 生效日期：2008 年5 月30 日 四、权责单位： 本规程的权责单位为浙江昱辉阳光能源有限公司硅单晶三厂技术部。 五、作业流程： 作业准备 取单晶和籽晶 石墨件取出冷却 真空过滤器清扫 真空泵油检查与更换 硅料安装 石英坩埚安装 石墨件安装 炉室清扫 石墨件清扫 籽晶安装 抽空、检漏 充氩气、升功率、熔料 温度稳定 引晶和缩颈 热态检漏 降功率、停炉 收尾 等径生长 转肩 放肩 六、作业内容： 1、作业准备 ⑪、进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 ⑫、开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无异常后方能开炉。 ⑬、准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口 罩。 ⑭、准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 ⑮、准备取单晶用的专用取棒车、装石墨件的不锈钢长条车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈 钢小车，并处理干净。 ⑯、用毛巾将炉体从上到下擦扫一遍，擦扫时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉 子周围清扫干净。 2 、取单晶和籽晶 ⑪、点击【氩气】进入氩气控制菜单，在【MFC 流量值】中分步递增到100.0SLM，并先后点击【MFC 】 和【上炉体气阀】的【开启】按钮。炉体压力达到760Torr 后，先后点击【上炉体气阀】和【MFC 】 的【关闭】按钮。 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q02-09 版本号：A/1 页码：第3 页 共35 页 单晶炉操作规程 生效日期：2008 年5 月30 日 图3 【氩气】操作界面 ⑫、拧开上炉体螺母，将操作手柄上的【HOIST 】旋钮打向UP 位置点动上升炉筒至适当位置，将 操作手柄上的【SEED】旋钮打向UP 位置上升晶棒到翻板阀室以上，顺时针转动翻板阀手柄， 关闭翻板阀。 图4