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1,3 2 2 1,3
1. 2.
3. 010021)
PECVD
80nm
650nm 2%
1
Si0 MgF SiN Ta 0
2 2 x 2 5
SiN SiN
x x
SiN
x
SiNx
[1]
2
2.1
λ0/4λ0/2
λ0/4 λ0
[2]
nm
35
Y=C/B
∗
η B − C $η B − C $
R = % 0 % 0
[3] %η B + C %η B + C
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