半导体超净厂房纯气系统及实例.pdfVIP

维普资讯 半导体超净厂房纯气系统及实例 重庆光 电技术研究所 林晓莹 文 摘 简述半导体芯片制造中所用气体的纯度标准，并通过实例 ，对制备方法厦流程、 输送系统设计厦特点、气体站设计以厦参数的捡测等进行了阐述。 关键词 半导体 高纯氢气 高纯氧气 高纯氮气 压缩空气 流程圈 捡测 Abstract n summaryofthe purity eritiriaofthese gaseshaving been used to make semiconductor—chip,and someexamplesbeen ~iven for expafiming on producing methods and flow,deigning characteristic of transportation system,designing of gas—station and testing of praamete~，etc． Key words Semiconductor High-purity hydrogen High-。purity oxygen High。。puriyt nitrogen Compassed air Flow chart Test I刊出了半导体大规模集成电路加工与制造 中用 的几种常 1 引言 用气体的纯度指标 ： 电子工业是国民经济现代化 的重要标志 ，以集成 电 3 制备方法与实例 路为代表的半导体芯片制造业是发展电子工业 的核心和基 础。芯片的性能取决于设计和工艺技术 的先进性、合理性 3．1 外购瓶装气体直接使用：如硅烷、氨气、三氯乙 和严格性．而芯片的成品率和可靠性剐主要取决于制作材 烯、He、Ne、Ar等等 ，这类气体只在某些工艺 中使用 ， 料的纯度和加工制造环境的洁净度 ，特别是随着纳米加工 用气量小 ．用气点少 ．纯度要求在 99．9％以上 ，满足工艺 技术的发展 ，超纯材料和超净环境在半导体工业 中的地位 需要，可直接使用，但值得注意的是，这类气瓶将直接安 和作用越来越重要 。 拔于超净厂房内．囡此必须配备气瓶柜，柜 内安装 流排 和减压装置 ．然后经不锈钢管道送至用气点。 2 纯度标准 在集成 电路、半导体和电子器件加工与制造 中高纯气 圈 固 体可作为保护气、置换气、运载气、反应气等 ，为保证芯 图 1 瓶装气体使用示意图 片的成 品率和可靠性 ，其 中一个重要的环节 ，就是必须严 3．2 外购液化气体纯化后使用 ：如 0和 ，这两种 格控制加工过程中所用气体的纯度 ，所谓 “高纯 也不是 气体用量最大、纯度要求高、用气点最多．我们 同时综台 无止境的要求纯而又纯 ，而是指把危害苗片性能、成 品率 了价格因素 ，决定选择购买纯度为99．99％以上的液态氧气 和可靠性的有害杂质及尘粒．必须减少到一定值以下。表 和氨气 ，贮存于贮气罐中，定时补充 ．使用前 ．经专用纯 裹 l 大规模集成电路常用纯气纯度指标 ’ ＼ 指标 古氧量 含氨量 含氢量 CO和c f