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LED芯片技术发展趋势简述.ppt
LED芯片技术发展趋势 目前的外延技术可以使得InGaN有源层在常温和普通注入电流条件下的内量子效率达到90-95%,但当温度升高时,内量子效率会有较大的下降,因此要提高发光效率必须控制结温和提高出光效率。基于这点,技术发展趋势如下: 1,衬底剥离技术(Lift-off) 这项技术首先由美国惠普公司在AlGaInP/GaAs led上实现, GaAs衬底使得LED内部光吸收损失非常大,通过剥离GaAs衬底,然后粘接在透明的GaP衬底上,可以提高近2倍的发光效率。蓝宝石衬底激光剥离技术(LLO)是基于GaN的同质外延发展的一项技术,利用紫外激光照射衬底,熔化缓冲层而实现衬底的剥离。2003年2月,OSRAM用LLO工艺将蓝宝石去除,将LED出光效率提至75%,是传统LED的3倍,目前他们已拥有了第一条LLO生产线。 2,表面粗化技术 可以提高出光效率,但直接粗化容易对有源层造成损伤,同时透明电极更难制备。目前通过改变外延片生长条件得到表面粗化是一个较为可行的工艺。 3,制备基于二维光子晶体的微结构 这也是提高出光效率的一个途径,2003年9月日本松下电器制备出光子晶体的LED,其直径1.5微米,高0.5微米的凹凸可以增加60%的出光。 4,倒装芯片技术(Flip-Chip) 较好地解决电极挡光和蓝宝石不良散热问题,从蓝宝石衬底面出光。根据美国Lumileds公司的结果,倒装芯片约增加出光效率1.6倍。 5,芯片表面处理技术 主要技术途径采用了用表面微结构或表面纹理结构(Surface Texture)化提升正面出光效率。紫外光LED表面通过图形转换(Patterning)技术提高光功率,对表面进行加工后,提高了紫外光LED的取光效率。 6,全方位反射膜 全方位反射膜 7,发展大功率大尺寸芯片 大尺寸芯片设计要注意到两个问题,一是大驱动电流下光效下降问题;二是低扩散电阻的P电极设计,尽量降低电功率耗散产生的热效应。 8,提高侧向出光的利用效率 需要对发光区底部的衬底(正面出光)或者外延层材料(背面出光)进行特殊的几何规格设计、并在适当的区域涂覆高反层薄膜,从而提高器件的侧向出光利用率,提高输出功率。 LED行业资料 * * * * * LED上游的发展趋势主打中下游的市场
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