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25 3 Vol25 No3
2008 7 JOURNAL OF SH ENZHEN UNIVERSITY SC IENCE AND ENG INEER ING July 2008
: 10002 18( 2008) 0302870
1 1 1 2 2 3
刘 毅 , 林晓东, 张 磊 , 张 麟 , 陈弟虎 , 潘仕荣
( 1. , 5180 0; 2. , 510275;
3. , 510275)
: 采用 240 nm K rF脉冲激光沉积方法, 在 Si ( 100) 衬底上制备类 刚石薄膜, 利用椭圆偏振
光谱和拉曼光谱研究薄膜键结构及光学性质, 用血小板黏附实验研究薄膜的抗凝血性能及脉冲重复频率影
3
响. 结果表明, 脉冲激光沉积制备的类 刚石薄膜 sp C含量高, 且抗凝血性能佳, 脉冲重复频率增大使
3
入射碳离子能量增加, 薄膜的 sp 键成分先升后降, 在脉冲重复频率为50 H z时达到最大值; 类 刚石薄膜
3 3
的 sp 键成分影响其抗凝血性能, sp 键成分越高, 其抗凝血性能越好.
: 类 刚石薄膜; 脉冲激光沉积; 生物材料; 生物相容性; 拉曼光谱
: TB 43; R 318 : A
( d iamondlike carbon films, ,
DLC) , , .
,
, , , .
[ 1]
, .
3 2
sp C sp .
C,
. ( pu lse 1 实 验
laser deposition, PLD)
3
, sp C , 11
[ 2]
, . PLDIV
3
, sp C .
[ 3] , ,
.
. Tu ilaser
, TSF100, KrF,
. 248 nm, 5~ 100 H z, 20
, ns, 0 ~ 250 mJ.
() ( 100), ,
, , , . , 20 ! 10- 4 Pa,
. 20! 10- 4 ~ 70 !
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